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发明名称
A PROCESS FOR OBTAINING A LIFT-OFF IMAGING PROFILE
摘要
申请公布号
EP0824719(A1)
申请公布日期
1998.02.25
申请号
EP19970905982
申请日期
1997.02.18
申请人
CLARIANT INTERNATIONAL LTD.
发明人
SPAK, MARK, A.;DAMMEL, RALPH, R.;DEPRADO, MICHAEL
分类号
G03F7/022;G03F7/039;G03F7/09;G03F7/26;G03F7/38;G03F7/40;(IPC1-7):G03F7/09
主分类号
G03F7/022
代理机构
代理人
主权项
地址
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