发明名称 DIELECTRIC ISOLATION SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1050823(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19960206940 申请日期 1996.08.06
申请人 NEC CORP 发明人 KOBAYASHI KIYONARI
分类号 H01L21/02;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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