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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1050827(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19960199061 申请日期 1996.07.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AZUMA ATSUSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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