发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1050938(A) 申请公布日期 1998.02.20
申请号 JP19960200828 申请日期 1996.07.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 YASUIKE NORIYUKI
分类号 H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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