发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1041506(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960196190 申请日期 1996.07.25
申请人 NEC CORP 发明人 UESAWA KENICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/51;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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