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发明名称 SUBSTRATE TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH1041268(A) 申请公布日期 1998.02.13
申请号 JP19960197540 申请日期 1996.07.26
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 TSUCHIYA AKIO;IZUMI AKIRA
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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