发明名称 Bildaufzeichnungsmaterial und Bildaufzeichnungsverfahren damit
摘要
申请公布号 DE69031783(D1) 申请公布日期 1998.01.22
申请号 DE1990631783 申请日期 1990.03.16
申请人 HITACHI CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP;HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 UENO, TAKUMI, HACHIOJI-SHI, JP;SHIRAISHI, HIROSHI, HACHIOJI-SHI, JP;HAYASHI, NOBUAKI, IRUMA-GUN, SAITAMA-KEN, JP;FUKUMA, EMIKO (NEE AOKI), WAKO-SHI, JP;TADANO, KEIKO, KODAIRA-SHI, JP
分类号 G03F7/038;C07C309/65;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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