发明名称 |
METHOD FOR ENHANCING SENSITIVITY OF LEAK DETECTOR AND HIGH SENSITIVITY ANALYZING PIPE FOR LEAK DETECTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH109992(A) |
申请公布日期 |
1998.01.16 |
申请号 |
JP19960164614 |
申请日期 |
1996.06.25 |
申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
TAKAHASHI NAOKI;TSUKAGOSHI OSAMU;HAYASHI TOSHIO |
分类号 |
G01M3/20;(IPC1-7):G01M3/20 |
主分类号 |
G01M3/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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