发明名称 METHOD FOR ENHANCING SENSITIVITY OF LEAK DETECTOR AND HIGH SENSITIVITY ANALYZING PIPE FOR LEAK DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH109992(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960164614 申请日期 1996.06.25
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 TAKAHASHI NAOKI;TSUKAGOSHI OSAMU;HAYASHI TOSHIO
分类号 G01M3/20;(IPC1-7):G01M3/20 主分类号 G01M3/20
代理机构 代理人
主权项
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