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发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1012569(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960158263 申请日期 1996.06.19
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 IHARA YOSHIKAZU
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/306;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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