| 发明名称 |
Interferometer zur Messung von Oberflächen mit Beugungsoptik mit streifendem Einfall |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29623238(U1) |
申请公布日期 |
1998.01.08 |
| 申请号 |
DE1996223238U |
申请日期 |
1996.01.18 |
| 申请人 |
TROPEL CORP., FAIRPORT, N.Y., US |
发明人 |
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| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/24;G01J3/18;G01L7/10;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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