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发明名称 MEMBRANE PROBING OF CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0779987(A4) 申请公布日期 1998.01.07
申请号 EP19950931721 申请日期 1995.09.08
申请人 MICROMODULE SYSTEMS, INC.;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 LIU, KEN, KUANG-FU;MIN, BYOUNG-YOUL;SATO, KUNIO;SATO, TAKASHI
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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