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发明名称 ION IRRADIATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09320509(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960153012 申请日期 1996.05.23
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NISHIGAMI YASUAKI
分类号 H01J37/20;C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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