发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH09315887(A) 申请公布日期 1997.12.09
申请号 JP19960138220 申请日期 1996.05.31
申请人 JAPAN ENERGY CORP 发明人 ASAHI TOSHIAKI;SHIMIZU HIDEKAZU
分类号 C30B15/20;C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B27/02 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
主权项
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