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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09310174(A)
申请公布日期
1997.12.02
申请号
JP19960150041
申请日期
1996.05.21
申请人
ANELVA CORP
发明人
KOBAYASHI MASAHIKO;TAKAHASHI NOBUYUKI
分类号
C23C14/35;H01J37/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/35
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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