| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09312346(A) |
申请公布日期 |
1997.12.02 |
| 申请号 |
JP19960151724 |
申请日期 |
1996.05.23 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
EJIRI YOICHI;MIWA HIROYUKI;YASUSHIGE HIROAKI |
| 分类号 |
H01L21/8222;H01L21/8224;H01L21/8226;H01L27/02;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/822 |
主分类号 |
H01L21/8222 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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