发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09312299(A) 申请公布日期 1997.12.02
申请号 JP19960128590 申请日期 1996.05.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 EGUCHI SOJI
分类号 H01L29/41;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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