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发明名称
摘要
申请公布号 JP2682727(B2) 申请公布日期 1997.11.26
申请号 JP19900157849 申请日期 1990.06.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/768;H01L21/3205;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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