发明名称 Pellet bonding apparatus
摘要
申请公布号 GB2284302(B) 申请公布日期 1997.11.26
申请号 GB19940023244 申请日期 1994.11.17
申请人 * TOSHIBA AUTOMATION CO LTD 发明人 MAKOTO * ARIYE;YASUSHI * TAKEDA;KATSUYOSHI * KAWABE
分类号 H01L21/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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