| 发明名称 |
ETCHING PROCESSING METHOD FOR METALLIC SUBSTRATE AND JIG FOR ETCHING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09302482(A) |
申请公布日期 |
1997.11.25 |
| 申请号 |
JP19960118646 |
申请日期 |
1996.05.14 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
IMASAKA SHINICHI;HARA KAZUNORI |
| 分类号 |
C23F1/08;H01J9/14;H01L21/306;H01L23/50;(IPC1-7):C23F1/08 |
主分类号 |
C23F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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