发明名称 DEVICE FOR VACUUM APPLICATION OF THIN FILMS
摘要
申请公布号 RU2096521(C1) 申请公布日期 1997.11.20
申请号 RU19960109651 申请日期 1996.05.13
申请人 ODINOKOV VADIM V;PANFILOV YURIJ V;BULYGINA EKATERINA V 发明人 ODINOKOV VADIM V;PANFILOV YURIJ V;BULYGINA EKATERINA V
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址