发明名称 |
Transfer transporting apparatus for semiconductor device manufacturing stocker |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2306163(B) |
申请公布日期 |
1997.11.19 |
申请号 |
GB19960001456 |
申请日期 |
1996.01.25 |
申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED |
发明人 |
KWON-SU * PARK |
分类号 |
B65G1/04;H01L21/677;(IPC1-7):B65G1/04 |
主分类号 |
B65G1/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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