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发明名称 Dipolringmagnet für Magnetronzerstäubung oder Magnetronätzung
摘要
申请公布号 DE69403768(T2) 申请公布日期 1997.11.13
申请号 DE19946003768T 申请日期 1994.12.27
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO, JP;SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MIYATA, KOJI, SABAE-SHI, FUKUI, JP
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
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