发明名称 METHOD FOR DRAINING WORK
摘要
申请公布号 JPH09287874(A) 申请公布日期 1997.11.04
申请号 JP19960122616 申请日期 1996.04.18
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 TAKAGI NAGAHISA
分类号 F26B21/00;H01L21/304;(IPC1-7):F26B21/00 主分类号 F26B21/00
代理机构 代理人
主权项
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