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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH09289207(A) 申请公布日期 1997.11.04
申请号 JP19960101049 申请日期 1996.04.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOBAYASHI KIYOTERU
分类号 H01L21/8247;H01L21/316;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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