| 发明名称 |
SCANNING ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09283433(A) |
申请公布日期 |
1997.10.31 |
| 申请号 |
JP19960118302 |
申请日期 |
1996.04.16 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SAKAI KEITA;SUDA SHIGEYUKI |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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