发明名称 |
FORMATION OF SILICON OXIDE FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH09283517(A) |
申请公布日期 |
1997.10.31 |
申请号 |
JP19960085341 |
申请日期 |
1996.04.08 |
申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
KAMIMURA KENICHI;MORI YOSHIHIRO;OTSUKA SUSUMU |
分类号 |
H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|