摘要 |
<p>Bei einer Vorrichtung zum Behandeln von Substraten (3) in einem Fluid-Behälter (1) erhalten die Substrate (3) auch bei großen Abmessungen einen besonders sicheren Halt durch wenigstens eine Halteleiste (6), die auf den oberen Kantenbereich der Substrate (3) auflegbar ist. Ein Verfahren zum Behandeln von Substraten ist ebenfalls angegeben.</p> |