发明名称 DEVICE AND PROCESS FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER
摘要 <p>Bei einer Vorrichtung zum Behandeln von Substraten (3) in einem Fluid-Behälter (1) erhalten die Substrate (3) auch bei großen Abmessungen einen besonders sicheren Halt durch wenigstens eine Halteleiste (6), die auf den oberen Kantenbereich der Substrate (3) auflegbar ist. Ein Verfahren zum Behandeln von Substraten ist ebenfalls angegeben.</p>
申请公布号 WO1997040522(A1) 申请公布日期 1997.10.30
申请号 EP1997001528 申请日期 1997.03.26
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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