| 摘要 |
<p>Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines GMR-Brückensensors sowie den Brückensensor selbst, bei dem zur Feststellung eines magnetischen Feldes magnetoresistive Widerstände (1 - 4) in Form einer Brücke zusammengeschaltet sind. Die Widerstände bestehen aus einem Material, das den GMR-Effekt (Giant Magnetoresistive Ratio Effekt) aufweist. Die magnetoresistive Empfindlichkeit der einzelnen Widerstände wird durch Tempern hervorgerufen. Das Tempern der Widerstände erfolgt durch ausgewähltes Einspeisen eines Stromes, welcher für das Erreichen der für das Tempern notwendigen Temperatur ausreicht, in die Brückenanschlüsse (5 - 8). Je nach Beschaltung der Brückenanschlüsse werden damit die Widerstände mit der für den GMR-Effekt notwendigen Eigenschaft einzeln oder paarweise versehen. Als Material für die Widerstände wird insbesondere ein Material der Klasse der diskontinuierlichen Mehrschichtmaterialien, insbesondere NiFe/Ag, verwendet, bei welchen die GMR-Eigenschaft durch einmaliges Tempern mit einer bestimmten Temperatur hervorgerufen wird.</p> |
