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发明名称 CORPUSCULAR BEAM IRRADIATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09272967(A) 申请公布日期 1997.10.21
申请号 JP19960086164 申请日期 1996.04.09
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 MIYAKE KOJI
分类号 G21K5/00;C23C14/28;H01J37/30;(IPC1-7):C23C14/28 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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