| 发明名称 |
SHINKUSHORISOCHINOSEIGYOHOHO |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JP2664216(B2) |
申请公布日期 |
1997.10.15 |
| 申请号 |
JP19880215008 |
申请日期 |
1988.08.31 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
SORAOKA MINORU;KAWASAKI YOSHINAO;KUDO KATSUYOSHI |
| 分类号 |
B01J3/02;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
B01J3/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
