发明名称 |
METHOD OF MICROOBJECT SURFACE EXAMINATION AND DEVICE INTENDED FOR ITS REALIZATION |
摘要 |
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申请公布号 |
RU2092863(C1) |
申请公布日期 |
1997.10.10 |
申请号 |
RU19930035776 |
申请日期 |
1993.07.09 |
申请人 |
NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "FORUM" |
发明人 |
KISLOV VLADIMIR V;KOLESOV VLADIMIR V;PEREVOSHCHIKOV VYACHESLAV A |
分类号 |
G01R27/26;H01J37/285;(IPC1-7):G01R27/26 |
主分类号 |
G01R27/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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