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发明名称 HANDOTAINOFUJUNBUTSUBUNPUSOKUTEIHOHO
摘要
申请公布号 JP2661641(B2) 申请公布日期 1997.10.08
申请号 JP19950067343 申请日期 1995.03.27
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 TANABE AKIRA
分类号 H01L21/66;G01N27/00;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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