发明名称 DEFECT INSPECTION APPARATUS FOR ELECTRONIC CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH09266238(A) 申请公布日期 1997.10.07
申请号 JP19960075559 申请日期 1996.03.29
申请人 SONY CORP 发明人 TAKIZAWA MASAAKI
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址