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发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2658899(B2) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 JP19940227817 申请日期 1994.09.22
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 TSUBOI TOKUJI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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