| 发明名称 |
ZETSUENGEITOGATAHANDOTAISOCHIOYOBISONOSAKUSEIHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2657588(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.24 |
| 申请号 |
JP19910069561 |
申请日期 |
1991.01.11 |
| 申请人 |
HANDOTAI ENERUGII KENKYUSHO KK |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;TAKEMURA YASUHIKO;SEO NORIHIKO |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L29/08;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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