| 发明名称 |
SPUTTERING DEVICE SIMULATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09249969(A) |
申请公布日期 |
1997.09.22 |
| 申请号 |
JP19960055682 |
申请日期 |
1996.03.13 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
YAMADA HIROAKI;OTA TOSHIYUKI;NIIMURA TOSHIKI |
| 分类号 |
C23C14/34;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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