| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09246146(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960045816 |
申请日期 |
1996.03.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OKUMURA MASAHIDE;NAGATA KOJI;TAKAHASHI HIROYUKI;GOTO YASUKO |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
