发明名称 |
MANUFACTURE OF PROBE AND CIRCUIT BOARD USED THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09243661(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
申请号 |
JP19960048927 |
申请日期 |
1996.03.06 |
申请人 |
NITTO DENKO CORP |
发明人 |
TAKAYAMA YOSHINARI;SO KAZUNORI;MIYAKE KIYOSHI;YADA HIROSHI |
分类号 |
G01R1/06;G01R3/00;H01L21/60;H01L21/66;H01L23/12;H05K3/40;(IPC1-7):G01R1/06 |
主分类号 |
G01R1/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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