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发明名称 BONDEINGUHOHOOYOBISOCHI
摘要
申请公布号 JP2650943(B2) 申请公布日期 1997.09.10
申请号 JP19880044416 申请日期 1988.02.29
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 TAKAHASHI MICHIRO;MITA TOORU;NAKAGAWA YASUO;HAMADA TOSHIMITSU;IWATA HISAFUMI;KANEDA AIZO;SERIZAWA KOJI;TANAKA HIROYUKI;SUGIMOTO KOICHI;SAKAI TOSHIHIKO;MATSUKAWA KEIZO;MIMATA TSUTOMU
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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