| 发明名称 |
SCANNING REFLECTED LIGHT MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09236610(A) |
申请公布日期 |
1997.09.09 |
| 申请号 |
JP19960042458 |
申请日期 |
1996.02.29 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KATOU MIDORI;KIGUCHI MASAFUMI;TANIGUCHI MORIO;KASORI SHINGO |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N37/00;G01Q60/18;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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