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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09232324(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960036039 申请日期 1996.02.23
申请人 NEC CORP 发明人 IWASAKI HIROYUKI
分类号 H01L21/20;H01L21/322;H01L21/74;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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