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发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2647053(B2) 申请公布日期 1997.08.27
申请号 JP19950111056 申请日期 1995.04.13
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 SUGANO YOICHI
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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