| 发明名称 |
SHIRIKONNOEPITAKISHARUSEICHOHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2645434(B2) |
申请公布日期 |
1997.08.25 |
| 申请号 |
JP19860136896 |
申请日期 |
1986.06.12 |
| 申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
MIENO FUMITAKE;FURUMURA JUJI;MAEDA MAMORU;NAKAZAWA TSUTOMU |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/46;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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