发明名称 Verfahren zur Stoßwellenbeschichtung von Substraten
摘要
申请公布号 DE4118072(C2) 申请公布日期 1997.08.07
申请号 DE19914118072 申请日期 1991.06.01
申请人 LINDE AG, 65189 WIESBADEN, DE 发明人 WANDKE, ERNST, DIPL.-ING. DR.HABIL.;STRIGL, REINHARD, DIPL.-ING., 80995 MUENCHEN, DE
分类号 C23C16/27;C23C16/503;C23C16/515;(IPC1-7):C23C16/50;C23C16/26 主分类号 C23C16/27
代理机构 代理人
主权项
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