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发明名称 MICRO-MINIATURE PIEZOELECTRIC DIAPHRAGM PUMP FOR THE LOW PRESSURE PUMPING OF GASES
摘要
申请公布号 EP0787261(A1) 申请公布日期 1997.08.06
申请号 EP19950935010 申请日期 1995.09.21
申请人 NORTHROP GRUMMAN CORPORATION 发明人 YOUNG, ROBERT;FREIDHOFF, CARL, B.;POLLA, DENNIS, L.;SCHILLER, PETER, J.
分类号 G01N27/62;F04B43/02;F04B43/04;H01J49/24;H01J49/28;(IPC1-7):F04B43/04 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
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