| 发明名称 |
PROCESS FOR SEPARATING METAL COATINGS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0787224(A1) |
申请公布日期 |
1997.08.06 |
| 申请号 |
EP19950935818 |
申请日期 |
1995.10.18 |
| 申请人 |
ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH |
发明人 |
MEYER, HEINRICH;SCHULZ, RALF |
| 分类号 |
C23C18/31;C23C16/18;C23C18/30;C23C18/32;H01L21/288;H05K3/24;H05K3/38;(IPC1-7):C23C18/30 |
主分类号 |
C23C18/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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