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发明名称 MICROMACHINING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09205216(A) 申请公布日期 1997.08.05
申请号 JP19960010171 申请日期 1996.01.24
申请人 TOKIN CORP 发明人 YAMANAKA EIJI
分类号 H01L29/80;(IPC1-7):H01L29/80 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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