发明名称 MOLECULAR BEAM JETTING OUT CELL
摘要
申请公布号 JPH09199422(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960009183 申请日期 1996.01.23
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 UENISHI TAKESHI
分类号 C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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