| 发明名称 |
Method for fabricating a monolithic semiconductor device with integrated surface micromachined structures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0762510(A3) |
申请公布日期 |
1997.07.30 |
| 申请号 |
EP19960113884 |
申请日期 |
1996.08.30 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
RISTIC, LJUBISA;SHEMANSKY, FRANK A., JR. |
| 分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;G01P15/08;G01P15/125;H01L21/822;H01L29/84;(IPC1-7):H01L27/20 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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