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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH09192574(A) 申请公布日期 1997.07.29
申请号 JP19960009758 申请日期 1996.01.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OGURA HIROSHI;SAGAWA USHIO;MIURA MASAYOSHI;IWAZAWA TOSHIYUKI;NAKA HIROYUKI
分类号 B05D1/40;B05C5/00;B05C11/08;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
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